MEMS传感器工作及其应用

术语MEMS代表微机电系统。这些是一组设备，并且这些设备的表征可以通过它们的微小尺寸和设计模式来完成。这些传感器的设计可以用1-100微米完成组件。这些器件可以与小结构不同于具有掺入的微电子控制下的具有许多移动元件的非常困难的机电系统。bob足球体育app通常，这些传感器包括机械微致动器，微结构，微电子和一个包装中的微传感器。bob足球体育app本文讨论了MEMS传感器，工作原理，优势及其应用程序

什么是MEMS传感器？

MEMS是低成本，高精度的惯性传感器，这些惯性传感器用于提供广泛的工业应用。该传感器采用基于芯片的技术即微型电力机械系统。这些传感器用于检测以及测量像压力的外部刺激，之后它响应于借助于一些机械动作测量压力的压力。这的最佳实例主要包括旋转电动机，用于补偿压力变化。

这MEMS IC制作可以用硅完成，由此稍微固定在Si衬底上的轻微材料层。之后选择性地固定，以留出微观的3D结构，如隔膜，梁，杠杆，弹簧和齿轮。

MEMS制造需要许多技术，用于构造氧化过程，扩散工艺，离子注入工艺，低压化学气相沉积工艺，溅射等。另外，这些传感器使用如微机械线的特定方法使用。

MEMS传感器工作原理

每当倾斜施加到MEMS传感器时，那么平衡质量会在电位内差异。这可以测量，如电容内的变化。然后可以改变该信号以在数字，4-20mA或VDC中创建稳定的输出信号。

这些传感器对某些应用是不需要工业自动化，位置控制，滚动和俯仰测量等最大精度的优化解决方案，以及平台调平。

MEMS的类型

MEMS传感器的常见类型是可在市场内获得的

• MEMS加速度计
• MEMS陀螺仪
• MEMS压力传感器
• MEMS磁场传感器

MEMS优势

MEMS传感器的优点包括以下内容。

• MEMS的制造是半导体IC制造，如低成本的质谱，对MEMS装置也是必不可少的。
• 传感器子组件的大小在1至100微米范围内，也将在MEMS器件尺寸范围内确定20微米到毫米范围。
• 功耗非常低。
• 易于包含在系统或改变中
• 热常数很小
• 这些可以高度反对冲击，辐射和振动。
• 更好的热开发耐受性
• 并行

MEMS的应用

MEMS传感器用于包括的不同域汽车，消费者，工业，军事，生物技术，空间探索和商业目的，包括喷墨打印机，现代汽车内的加速度计，消费电子产品，个人计算机等。bob足球体育app

MEMS器件的最佳示例主要包括自适应光学，光学交叉连接，气囊加速度计，电视和显示器，可操纵的微镜，RF MEMS器件，不可重复使用的医疗设备等镜像阵列。

因此，这是关于MEMS传感器。这些传感器的主要缺点是尽管每个部分的成本极低。但在设计，制造和成功的基于MEMS的产品时，存在巨大的投资。因此，设计人员不太可能扩展低卷应用的组件。这是一个问题的问题，MEMS设备的类别是什么？